Lee's Lab

半導體與光電製程設備監控組 (Cluster Tool)
資料蒐集共計 9篇 (From 2002 to 2004)

91學年度 (2002)
姓名	論文題目	學位
張德森	集束型製程設備最佳排程之即時搜尋	碩士
紀森炫	集束型半導體製程設備模擬器之分析與物件導向設計	碩士
周信邦	製程模組控制器軟體設計與實作	碩士

92學年度 (2003)
姓名	論文題目	學位
張文耀	傳輸模組與快速熱處理模組實體迴路模擬器之設計與實做	碩士
戴慶忠	集束型製程設備之製程模組控制器設計與測試	碩士
李妍慧	集束型設備傳輸模組控制器及通訊模組設計與測試	碩士

93學年度 (2004)
姓名	論文題目	學位
曹洪泰	集束型製程設備與上層主機通訊介面之軟體設計與應用	碩士
詹孟璋	半導體與光電製程設備通訊模組之研究與開發	碩士
蔡俊德	集束型化學氣相沈積製程設備模擬器及訓練器之軟體設計製作	碩士