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重要設備名稱 數量
電源供應器 n
光學桌 3
加速規 5
溫度槍 3
信號產生器 8
電容式位移感測器 5
鎖相放大器 8
訊號放大器 2
示波器 2
雙軸雷射位移感測器 7
三軸奈米定位平台 3
微型XYZ-3軸精密平台 5
氣壓控制模組一式 5
五相為步進控制器 4
500萬像素視覺攝影機 5
DAQ n