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重要設備名稱 數量 電源供應器 n 光學桌 3 加速規 5 溫度槍 3 信號產生器 8 電容式位移感測器 5 鎖相放大器 8 訊號放大器 2 示波器 2 雙軸雷射位移感測器 7 三軸奈米定位平台 3 微型XYZ-3軸精密平台 5 氣壓控制模組一式 5 五相為步進控制器 4 500萬像素視覺攝影機 5 DAQ n